在半導(dǎo)體制造的精密賽道上，每一步制程突破都離不開(kāi)底層技術(shù)的硬核支撐。作為實(shí)現(xiàn)晶圓全局平坦化的核心工藝，化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）是先進(jìn)集成電路前道工序與先進(jìn)封裝（如 CoWoS）的“咽喉環(huán)節(jié)”——其納米級(jí)的表面平坦化效果，直接關(guān)聯(lián)芯片良率與性能。

當(dāng)國(guó)產(chǎn)CMP設(shè)備成功突破14nm工藝制程，

菲尼克斯電氣以百年連接技術(shù)積淀，

為每一臺(tái)設(shè)備注入高可靠基因，

保障研磨壓力、轉(zhuǎn)速、平坦度

等關(guān)鍵參數(shù)的穩(wěn)定輸出，

助力先進(jìn)制程落地。

??

針對(duì)CMP設(shè)備

高密度布局、高潔凈要求、強(qiáng)穩(wěn)定性需求，

菲尼克斯電氣PT系列直插式導(dǎo)軌接線端子

憑借Push-in彈簧連接技術(shù)，

成為某知名半導(dǎo)體設(shè)備制造商的優(yōu)選方案，

三大核心模塊精準(zhǔn)適配設(shè)備復(fù)雜連接場(chǎng)景：

PTIO傳感器/執(zhí)行器端子

PTIO外形緊湊，位數(shù)配置靈活。與傳統(tǒng)方案相比大量使用可減少50%物料數(shù)量，節(jié)省60%以上的柜內(nèi)空間。

? Push-in直插技術(shù)，高效可靠安裝

? 單片3.5mm可連接3線或4線制傳感器和執(zhí)行器，節(jié)省空間

? 模塊化擴(kuò)展至最多50位

? LED狀態(tài)顯示，標(biāo)識(shí)類型齊全

50%

可減少物料數(shù)量??

60%

可減少柜內(nèi)空間??

PTFIX電位分配模塊

可提供不同接線容量、位數(shù)、安裝方式和顏色，滿足柜內(nèi)大量的電位分配需求，同時(shí)減少物料數(shù)量以及空間占用。模塊可以直接使用或按需擴(kuò)展。

? 單模塊內(nèi)部電位相同，至多減少90%的物料數(shù)量

? 體積緊湊，可節(jié)省至少30%的導(dǎo)軌寬度

? 安裝靈活，多種適配器和自黏式安裝型號(hào)

? 匹配CLIPLINE complete附件系統(tǒng)

30%

至少可節(jié)省導(dǎo)軌寬度??

圖片

PTU電位分配端子

緊湊設(shè)計(jì)和正面接線使得可在密閉空間內(nèi)進(jìn)行接線。支持35mm2螺釘進(jìn)線，4x10mm2直插式出線、4x6mm2+6x2,5mm2出線的不同組合，而且可以與支持CLIPLINE complete附件的導(dǎo)軌端子進(jìn)一步擴(kuò)展。

? 采用不同的連接方式，同時(shí)滿足內(nèi)外部接線要求

? 全封閉結(jié)構(gòu)，無(wú)需額外端板，減少物料數(shù)量

? 靈活的橋接，適用統(tǒng)一的CLIPLINE complete附件

? 螺釘側(cè)適配AGK分線附件

除PT系列端子外，菲尼克斯電氣可提供開(kāi)關(guān)電源、設(shè)備斷路器、EMC濾波器等配套的緊湊化產(chǎn)品方案。

國(guó)產(chǎn)化浪潮奔涌，技術(shù)創(chuàng)新永無(wú)邊界。

菲尼克斯電氣攜百年技術(shù)積淀，深度融入半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程：以定制化連接方案為錨點(diǎn)，與國(guó)內(nèi)設(shè)備廠商并肩攻堅(jiān)，從14nm到更先進(jìn)制程，持續(xù)輸出“高可靠 + 強(qiáng)適配“的創(chuàng)新成果，為國(guó)產(chǎn)設(shè)備的性能躍升與技術(shù)突破注入硬核動(dòng)力。